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新品发布!kSA XRF在线X射线荧光膜厚测量仪

 发布时间:2022-12-28 点击量:617

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近期我司推出最新产品,kSA XRF在线X射线荧光膜厚测量仪!对于膜层厚度太薄的金属薄膜和介电薄膜,光学方法测量其厚度显得不是很可靠。kSA XRF在线X射线荧光膜厚测量仪的推出主要就是为了解决该问题,它可以在线测量许多不同材料基底(例如:玻璃和太阳能电池组件)上的薄膜厚度。




1.配备保护性定制框架外壳,放置 X 射线源和探测器。

2.该设备桥接了传输线,以便于设备安装和工厂用户对系统的访问。

3.当 X 射线源正在使用时,会有警示灯闪烁提示。

4.配备面板的前/后边缘光电检测器,用于触发设备自动启停。

5.柜式控制器提供数据处理及存储功能。

6.配备小型灯塔用于指示检测情况。



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1.某些超薄的介电薄膜,光学方法难以测量其厚度,如低于100nm厚度薄膜;在这种情况下,kSA XRF可以很好地测量。
2.可在多种基板上测量金属薄膜厚度。
3.实时数据采集,检测薄膜厚度缺陷并进行在线反馈。
4.软件功能可定制,用户可以依据特定要求设置。
5.检测过程中可对质量控制进行验证,以确保涂层厚度在公差范围内。
6.工厂集成功能:使工厂用户能够将设备整合到现有系统(如:工厂警报、PLC、电子邮件警报等)中。
7.操作便捷,几乎不需要额外设置,只需操作员定期进行设备校准。





1.该系统由一个带有高压发生器的 X 射线管和一个 X 射线探测器系统组成。
2.其 X 射线检测系统组合了固态探测器、放大器、脉冲高度分析仪和多通道分析仪。
3.光谱仪能量校准后,系统自动识别 X 射线光谱峰值,并收集峰值强度以进行进一步处理。
4.该工具可根据客户的薄膜配方和测量需求测量对应的原子种类。




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1.使用专有的 k-Space 软件测量,分析和存储数据。
2.可与现有质量控制系统对接通讯。
3.利用光电检测器的触发器启动和停止数据采集。
4.专为典型的玻璃和太阳能电池板输送速度而设计。
5.全自动化,能够与工厂自动化通信对接。
6.报警信号可便捷的自定义配置。
7.单个检测头可以放置在面板宽度上的任何位置,并且可选配使用多个检测头。
8.厚度测量范围为 0~500 nm±1 nm,灵敏度和测量不确定度取决于被测元素。





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