激光光束分析仪是用于测量激光光束直径、形状和空间强度分布的仪器。光束直径和空间强度分布是描述激光光束特性的重要参数，决定了激光光束光束质量。

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高功率激光材料测试仪用于高功率激光器和极深紫外EUV源的光学部件性能综合测量，且性能和参数测量基于ISO国际标准。

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