高功率激光材料测试仪用于高功率激光器和极深紫外EUV源的光学部件性能综合测量，且性能和参数测量基于ISO国际标准。

光热弱吸收测量仪、弱吸收测量仪，强激光材料性能测试仪，高功率激光薄膜光热弱吸收测量仪，光学薄膜微弱吸收测量仪，光学材料光热效应测量仪

波前曲率传感器/压电驱动微动平台，装配CCD相机，光束方向快速移动，临近位置光束剖面/形貌分析，波前推导CCD像素级分辨，光束传播参数分析（M2、瑞利长度、束腰直径），Zernike分析畸变控制，采用自我参考法，无光束相干要求，紧凑式设计，在线检测。

Hartmann波前传感器（相干和非相干辐射），紧凑结构，可以实现光化性能检测，包括EUVL等离子源、自由电子激光、HHG高次谐波束，实时光学调整。

Hartmann-Shack波前传感器/波前分析仪是专用于激光束性能的综合表征，对激光辐射传播行为预测以及光束质量因子M²的确定，从同时记录强度和相位分布光束质量可以通过菲涅耳-基尔霍夫积分计算沿光束路径的任何位置，特别是焦平面。