系统整合了热释电测试、漏电流测试和热刺激去极化电流测试功能，电流分辨达到pA(10e-12A)量级！温度范围-184℃ to 300℃，带液氮冷却。模块化设计，测试腔室也可以用于介电和高压测试系统。