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  • XUV/EUVEUV/XUV波前传感器
    EUV/XUV波前传感器

    EUV/XUV波前传感器又称Hartmann波前传感器（相干和非相干辐射），紧凑结构，可以实现光化性能检测，包括EUVL等离子源、自由电子激光、HHG高次谐波束，实时光学调整。

    更新时间：2025-12-11

    厂商性质：代理商

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