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  • EUV/XUV波前传感器

    Hartmann波前传感器(相干和非相干辐射),紧凑结构,可以实现光化性能检测,包括EUVL等离子源、自由电子激光、HHG高次谐波束,实时光学调整。

    更新时间:2025-05-09

    厂商性质:代理商

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