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原位薄膜应力测试仪又名原位薄膜应力计,采用非接触激光MOS技术;不但可以对样品表面应力分布进行统计分析,而且还可以进行样品表面二维应力、曲率成像分析;客户可自行定义选择使用任意一个或者一组激光点进行测量;并且这种设计始终保证所有阵列的激光光点始终在同一频率运动或扫描,从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响;同时提高了测试的分辨率;适合各种材质和厚度薄膜应力分析;
更新时间:2024-07-04
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