kSA SpectR 光谱反射率测试仪是一种用于测量光谱绝对反射率，L*a*b*成色值和生长速率的非接触式测量设备。kSA SpectR 光谱反射率测试设备具有多种在线监控和过程控制的应用功能，包括垂直腔表面发射激光器（VCSEL），分布式布拉格反射器（DBR）和其他一些复杂的设备结构。该设备主要应用于监控测量sputtering，MBE和MOCVD等薄膜生产研究。