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kSA BandiT实时衬底温度测试仪是一种非接触、实时测量半导体衬底表面温度的测试系统,采用半导体材料吸收边随温度的变化,实时测量晶片/衬底的温度;并且kSA BandiT 已经成功地安装到众多的MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半导体沉积设备上,实现了晶片的温度实时检测。
更新时间:2024-07-04
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