kSA XRF 在线X射线荧光膜厚测试设备可以在线测量许多不同材料基底（例如：玻璃和太阳能电池组件）上的薄膜厚度。

这是一种用于测量光谱绝对反射率，L*a*b*成色值和生长速率的非接触式测量设备。kSA SpectR 光谱反射率测试设备具有多种在线监控和过程控制的应用功能，包括垂直腔表面发射激光器（VCSEL），分布式布拉格反射器（DBR）和其他一些复杂的设备结构。该设备主要应用于监控测量sputtering，MBE和MOCVD等薄膜生产研究。

薄膜应力测试系统，又名薄膜应力计或薄膜应力测量系统！采用非接触MOS激光技术；不但可以对样品表面应力分布进行统计分析，而且还可以进行样品表面二维应力、曲率成像分析；并且这种设计始终保证所有阵列的激光光点始终在同一频率运动或扫描，从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响；同时提高了测试的分辨率；适合各种材质和厚度薄膜应力分析；

电池电极应力测试系统，采用多光束光学传感器系统（kSA MOS）原位实时应力测量分析，可研究锂离子电池反应动力学过程中或在正常使用过程中内部会产生应力，对其电化学性能的影响；即就是在充放电过程中锂离子电池外壳表面的应力变化,得到了充放电循环中锂离子电池电极表面的应力大小与电荷状态的关系；进而分析充放电过程中应力变化的异同,即产生不可逆应力,充放电曲线不重合。

薄膜应力测试系统（kSA MOS Film Stress Measurement System），又名薄膜应力计或薄膜应力仪！ 采用非接触MOS激光技术；不但可以对样品表面应力分布进行统计分析，而且还可以进行样品表面二维应力、曲率成像分析；并且这种设计始终保证所有阵列的激光光点始终在同一频率运动或扫描，从而有效的避免了外界振动对测试结果的影响；同时大大提高了测试的分辨率；适合各种材质和厚度。