薄膜应力测量系统简介

kSA MOS Ultra Scan采用非接触 MOS（多光束光学传感） 激光技术；不但可以对薄膜的应力、表面曲率和翘曲进行测量，还可对二维应力 Mapping成像统计分析；同时测量应力、曲率随温度变化的关系。

基于kSA MOS 技术，kSA MOS Ultra Scan使用二维激光阵列扫描绘制半导体晶圆、光学镜面、玻璃、透镜等各种抛光表面的二维曲率、翘曲度和薄膜应力分布图。kSA MOS Ultra Scan适用于室温条件下测量需求，实现晶元全自动2D扫描测量，同时获得3D图。

1.14位单色CCD检测系统：分辨率 3296 x 2472 pixels (8MP), 5.5μm pixel size，有效感光面积18.13mm x 13.6mm，曝光时间可控范围10us to 26.8；

2.激光和光学系统：激光波长660nm(可定制其他波长激光器)，激光功率70mW，恒电流运行模式，稳定性≤2%（8小时）；带温控的激光控制器（出厂设定温度25°C），温度稳定性<0.2°C；

3.自动光学追踪系统：当进行样品测试时，用来追踪伺服系统而检测来自样品表面反射光；

4.XY方向线性扫描样品台：扫描范围300*300mm；分辨率1um；扫描速度可达20mm/sec.，软件控制；

5.计算机、MOS数据采集和系统控制电路板：Windows 操作系统；

6.测量分析软件：数据采集，系统控制，自动激光光点检测，自动曝光时间检测（避免由于材料表面反射率的强烈变化而引起检测器过载现象），曲率、曲率半径、应力强度、应力、翘曲数据采集和图像显示，您可以选择阵列任意数量激光点进行测试，分析功能：有线剖面分析、统计分析、等高线图分析等，便捷的2D和3D图像显示和调整功能，数据ASCII输出；

光学薄膜应力分布图

表面Patterned试样应力分布图

样品翘曲测量结果