光热弱吸收测量仪用一束强度被调制的泵浦激光照射被测样品,样品吸收光能后产生微量热效应,引起局部折射率变化、热膨胀或表面形变。再用另一束探测光读取这些热效应引起的信号变化,通过标定换算即可得到样品的吸收率数值。
技术指标:
吸收率检测范围:部分机型可达到0.1ppm乃至更低,国产设备目前已能覆盖1ppm级常规需求。
适用样品:光学镀膜镜片、激光晶体、非线性晶体、红外窗口材料、半导体衬底等。
测量波长:多配1064nm、532nm等常用激光波长,也可按客户激光系统定制。
选型要点:
测薄膜还是体材料:薄膜吸收优先看面吸收灵敏度;晶体/玻璃看体吸收灵敏度。
是否需要区分体/面吸收:做镀膜工艺分析时,这个功能很关键。
泵浦波长是否匹配:1064/532/355nm较常见;深紫外、中红外需定制。
灵敏度等级:常规弱吸收1ppm级够用;超低损耗元件建议看0.1ppm/cm级。
扫描能力:若要做吸收均匀性、缺陷定位,需支持二维面扫描。
环境与安装:这类仪器对振动、灰尘、温度较敏感,通常建议放在光学平台或稳定实验环境中。