三维表面轮廓仪基于光学干涉、共聚焦显微镜等技术，通过白光LED光源照射被测物体表面，利用反射光信息重建物体三维模型。其核心原理是通过精密Z向扫描模块捕捉表面微观形貌，结合3D建模算法实现高精度成像，具有非接触性、高速度等优点，可以用于分析物体表面的形状、粗糙度、纹理等特征。
与传统的测量方法相比，它具有诸多优势。首先，非接触式测量避免了对被测物体的损伤，尤其对于一些精密的、易损的材料和工件，能够在不影响其性能的前提下进行准确测量。其次，高分辨率的测量能力可以捕捉到物体表面微小的细节，无论是纳米级的微观结构还是宏观物体的复杂形貌，都能清晰呈现。再者，快速的测量速度使得它能够在短时间内完成大量数据的采集，提高了工作效率。
本公司提供的三维表面轮廓仪的高度方向测量精度达0.05nm；系统整合了白光共聚焦+激光共聚焦技术；以双共聚焦光学系统为基础，集6项测试功能于一体，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉显微镜、垂直白光干涉显微镜、相差干涉显微镜、反射分光膜厚测量等功能；通常多台设备才能完成的测量，仅需一台设备即可实现，解决了需要使用多种工具的麻烦，满足在各种测量场景中的测试需求。
