水溶性NaCl薄膜上GaAs模板的分子束外延

目前III-V族化合物衬底费用普遍偏高，许多技术由此受到了其成本的限制。因此，能够重复使用原始衬底是一种可行的解决方法，但现有的衬底再利用技术存在明显缺陷。在这篇文章中，研究人员讨论了一种通过分子束外延在常用（001）GaAs衬底上沉积水溶性NaCl薄膜的新方法。利用原位电子束和低温成核层，在连续的NaCl层上生长单晶GaAs模板。模板层可以通过NaCl的溶解而从衬底上快速去除，Lift-off（剥离工艺）后的原始晶片rms表面粗糙度仅增加了0.2nm。

产品推荐

1. kSA BandiT实时衬底温度测试仪 是一种非接触、实时测量半导体衬底表面温度的测试系统，采用半导体材料吸收边随温度的变化的原理，实时测量晶片/衬底的温度。

文献信息