原位薄膜应力测试仪的主要特点：
1、MOS 多光束传感器技术。
2、单Port(样品正上方)和双Port(对称窗口)系统设计。
3、适合MOCVD, MBE, Sputter，PLD、蒸収系统等各种真空薄膜沉积系统以及热处理设备等。
4、薄膜应力各向异性测试和分析功能。
5、生长速率和薄膜厚度测量。（选件）
6、光学常数n&k 测量。（选件）
7、多基片测量功能。（选件）
8、基片旋转追踪测量功能。（选件）
9、实时光学反馈控制技术，系统安装时可设置多个测试点。
10、专业设计免除了测量丌受真空系统振动影响。
原位薄膜应力测试仪的测试功能：
1、实时原位薄膜应力测量。
2、实时原位薄膜曲率测量。
3、实时原位应力*薄膜厚度曲线测量。
4、实时原位薄膜生长全过程应力监控等。
