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原位薄膜应力测试仪的主要特点及测试功能

 发布时间:2021-09-23 点击量:79
原位薄膜应力测试仪的主要特点:

1、MOS 多光束传感器技术。

2、单Port(样品正上方)和双Port(对称窗口)系统设计。


3、适合MOCVD, MBE, Sputter,PLD、蒸収系统等各种真空薄膜沉积系统以及热处理设备等。


4、薄膜应力各向异性测试和分析功能。


5、生长速率和薄膜厚度测量。(选件)


6、光学常数n&k 测量。(选件)


7、多基片测量功能。(选件)


8、基片旋转追踪测量功能。(选件)


9、实时光学反馈控制技术,系统安装时可设置多个测试点。


10、专业设计免除了测量丌受真空系统振动影响。


原位薄膜应力测试仪的测试功能:


1、实时原位薄膜应力测量。


2、实时原位薄膜曲率测量。


3、实时原位应力*薄膜厚度曲线测量。


4、实时原位薄膜生长全过程应力监控等。