三维表面轮廓仪是一种用于高精度测量物体表面三维形貌的精密计量仪器，广泛应用于电子、汽车、半导体、材料科学及工业检测等领域。
三维表面轮廓仪的性能由关键技术参数决定，不同应用场景对参数的要求差异显著，在选购时需重点关注以下指标：
1、测量范围：
包括横向范围(X/Y 轴，决定可测样品的*大尺寸)和纵向范围(Z 轴，决定可测表面的*大高度差)。
2、分辨率：
纵向分辨率：衡量区分表面微小高度差的能力，是核心指标；
横向分辨率：衡量区分表面微小横向特征的能力，与光学系统的物镜倍率、探测器像素有关。
3、测量精度：
指测量结果与真实值的偏差，通常包括线性误差(Z 轴位移的线性度)、重复性误差(多次测量同一位置的偏差)、平面度误差(校准平面的测量偏差)。
4、测量速度：
取决于扫描方式(逐点扫描、线扫描、面扫描)和数据处理效率：
结构光投影式：面扫描，速度*快(毫秒级，适合在线检测)；
原子力显微镜：逐点扫描，速度*慢(分钟级，适合离线精密分析)；
白光干涉仪：线扫描，速度中等(秒级至分钟级，兼顾精度与效率)。
5、样品兼容性：
包括样品的材质(金属、非金属、透明 / 不透明、导电 / 绝缘)、尺寸(是否适配样品台)、表面状态(光滑 / 粗糙、干燥 / 湿润)。
