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原位薄膜应力测试仪是薄膜制备工艺必不可少的工具

 发布时间:2021-03-29 点击量:26
  原位薄膜应力测试仪,又名薄膜残余应力测试仪或薄膜应力仪,是专门用于测试和研究薄膜材料和薄膜制备工艺的必不可少的工具。
  薄膜中应力的大小和分布对薄膜的结构和性质有重要的影响,可导致薄膜的光、电、磁、机械性能改变。例如,薄膜中的应力是导致膜开裂或与基体剥离的主要因素,薄膜中存在的残余应力很多情况下影响MEMS器件结构的特性,甚至严重劣化器件的性能,薄膜的内应力对薄膜电子器件和薄膜传感器的性能有很大的影响.因此,薄膜应力研究在薄膜基础理论和应用研究中起到重要的作用,薄膜应力的测量备受关注。原位薄膜应力测试仪再例如在硬质薄膜领域,金属氮化物、氧化物、碳化物等硬质薄膜因具有优越的耐磨、耐腐蚀等特性,被广泛应用于金属材料的防护.硬质薄膜的主要制备方法包括物理气相沉积和化学气相沉积技术.研究发现,沉积态硬质薄膜中存在较大的残余应力,而且沿层深分布不均匀;该残余应力对硬质薄膜一基体系统的性能影响很大,较准确地测量硬质薄膜的残余应力,系统研究它与沉积工艺的关系,对优化硬质薄膜基体系统的性能具有重要的意义。
  原位薄膜应力测试仪产品功能和特点:
  1.自动采集分析数据功能;
  2.自动扫查样品边缘,定位样品中心;
  3.自动计算出曲率半径值和薄膜应力值;
  4.对原始表面不平直的基片表面的薄膜,可采取原位测量的方式,计算薄膜应力值。