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如果你还不了解原子层沉积的应用,请看这里!

 发布时间:2020-12-18 点击量:50
  原子层沉积技术由于其沉积参数的高度可控型(厚度、成份和结构)
  原子层沉积,最初称为原子层外延,也称为原子层化学气相沉积。原子层沉积是在一个加热反应器中的衬底上连续引入至少两种气相前驱体物种,化学吸附的过程直至表面饱和时就自动终止,适当的过程温度阻碍了分子在表面的物理吸附。
  可以沉积的材料包括:氧化物,氮化物,氟化物,金属,碳化物,复合结构,硫化物,纳米薄层等。
  半导体领域
  晶体管栅极电介质层(高k材料),光电元件的涂层,晶体管中的扩散势垒层和互联势垒层(阻止掺杂剂的迁移),有机发光显示器的反湿涂层和薄膜电致发光(TFEL)元件,集成电路中的互连种子层,DRAM和MRAM中的电介质层,集成电路中嵌入电容器的电介质层,电磁记录头的涂层,集成电路中金属-绝缘层-金属(MIM)电容器涂层。
  纳米技术领域
  中空纳米管,隧道势垒层,光电电池性能的提高,纳米孔道尺寸的控制,高高宽比纳米图形,微机电系统(MEMS)的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层,纳米晶体,ZnSe涂层,纳米结构,中空纳米碗,存储硅量子点涂层,纳米颗粒的涂层,纳米孔内部的涂层,纳米线的涂层。
  上述领域并不代表原子层沉积技术的所有可能应用领域,随着科技的发展在不远的将来将会发现其越来越多的应用。根据该技术的反应原理特征,各类不同的材料都可以沉积出来。已经沉积的材料包括金属、氧化物、碳(氮、硫、硅)化物、各类半导体材料和超导材料等。
  生产商
  在原子层沉积系统有国际品牌和自主品牌两类。在国外品牌以剑桥(cambridge)历史悠久,各洲销售量几百台。其次以芬兰的BENEQ和picosun,在ALD领域投入大量研发工作,通过原子层沉积来制备薄膜,由于 ALD 沉积系统价格昂贵,而望而却步。欧洲Anric 致力于以低廉的成本在小尺寸桌面型(4~6英寸以内)上沉积出优质的薄膜。在国内已经有几家设备公司先后完成研发,在市场上推出自己的机型。