销售咨询热线:
18911365393
产品中心

薄膜热应力测量系统

描述:薄膜热应力测量系统(kSA MOS Thermal-Scan 薄膜热应力仪,薄膜应力计,薄膜应力测试仪)同时KSA公司荣获2008 Innovation of the Year Awardee!

更新时间:2024-04-24
产品型号:
厂商性质:代理商
详情介绍
品牌其他品牌应用领域环保,化工,生物产业,能源,电子

薄膜热应力测量系统

已经广泛被著名高等学府(如:Harvard University 2套,Stanford University,Johns Hopkins University,Brown University 2套,Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute,西安交通大学,中国计量科学研究院,中科院微系统研究所,上海光机所等)、半导体和微电子制造商(如IBM.,Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC,Nissan ARC,Nichia Glass Corporation)等所采用;


薄膜热应力测量系统

同类设备:
               薄膜应力测试仪(kSA MOS 薄膜应力测量系统,薄膜应力计);
               薄膜残余应力测试仪;
               实时原位薄膜应力仪(kSA MOS);

技术参数:
kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System,kSA MOS Film Stress Mapping System;
  1.变温设计:采用真空和低压气体保护,温度范围RT~1000°C;
  2.曲率分辨率:100km;
  3.XY双向程序控制扫描平台扫描范围:up to 300mm(可选);
  4.XY双向扫描速度:up to 20mm/s;
  5.XY双向扫描平台扫描步进/分辨率:2 μm ;
  6.样品holder兼容:50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, and 300mm直径样品;
  7.程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全样品扫描;
  8.成像功能:样品表面2D曲率、应力成像,及3D成像分析;
  9.测量功能:曲率、曲率半径、应力强度、应力、Bow和翘曲等;
  10.温度均匀度:优于±2摄氏度;

主要特点:
  1.技术:MOS多光束技术(二维激光阵列);
  2.变温设计:采用真空和低压气体保护,温度范围RT~1000°C;
  3.样品快速热处理功能;
  4.样品快速冷却处理功能;
  5.温度闭环控制功能,保证温度均匀性和精度;
  6.实时应力VS.温度曲线;
  7.实时曲率VS.温度曲线;
  8.程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全样品扫描;
  9.成像功能:样品表面2D曲率成像,定量薄膜应力成像分析;
  10.测量功能:曲率、曲率半径、薄膜应力、薄膜应力分布和翘曲等;
  11.气体(氮气、氩气和氧气等)Delivery系统;


测试结果

薄膜热应力测量系统

玻璃上镀SiN应力测试结果80°C



薄膜热应力测量系统



玻璃上镀SiN应力测试结果350°C



薄膜热应力测量系统

玻璃上镀SiN曲率测试结果80°C



薄膜热应力测量系统

玻璃上镀SiN曲率测试结果350°C


同类设备
    • 薄膜应力测试仪(kSA MOS 薄膜应力测量系统,薄膜应力计)
    • 薄膜残余应力测试仪
    • 实时原位薄膜应力仪(kSA MOS)

    • kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester

    • kSA MOS Film Stress Measurement System

    • kSA MOS Film Stress Mapping System





留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7