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kSA SpectR 光谱反射率测量设备

描述:这是一种用于测量光谱绝对反射率,L*a*b*成色值和生长速率的非接触式测量设备。该工具具有多种在线监控和过程控制的应用功能,包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些复杂的设备结构。该设备主要应用于监控测量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生产研究。

更新时间:2021-06-22
产品型号:
厂商性质:代理商
详情介绍
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域环保,化工,生物产业,能源,电子

kSA SpectR光谱反射率测量设备是一种用于测量光谱绝对反射率,L*a*b*成色值和生长速率的非接触式测量设备。该工具具有多种在线监控和过程控制的应用功能,包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些复杂的设备结构。该设备主要应用于监控测量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生产研究。


kSA SpectR光谱反射率测量设备的光学镜组被配置为镜面反射的几何形状。k-Space采用的该测量技术源自于美国Sandia国家实验室,并得到了实验室的使用授权。在这种测量原理中,薄膜每生长出一个新layer,程序就会自动拟合,将已有的所有基底和薄膜layer视为一个新的虚拟基底。kSA SpectR可以同时以多个波长进行测量,每个波长都具有潜在的独特优势。此工具可在选定的波长范围内轻松测量自定义光谱特征,如反射率的最小值、最大值、拐点或基线散射水平。


测量实例

 850 nm DBR的光谱反射率

 

在GaAs衬底上生长250nm的AlAs和500nm的GaAs时,532和940nm下的反射率及其拟合曲线

 

AlAs生长期间的生长速率,光学常数和反射率实时拟合曲线

 

AlAs和GaAs生长的未经校正的高温计测量结果和经过校正的ECP温度

 

GaAs薄膜生长过程中单个反射率振荡周期图

 

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