光热弱吸收测量仪

由于不可避免的残余吸收，在高功率激光系统中使用的任何光学元件都会在光学材料内部受到热应力的影响，从而导致传输的激光辐射出现瞬时波前畸变。这种现象被称为“热透镜效应”，它会导致激光过程的功率相关性不稳定，例如会导致用于激光材料加工的光学器件出现“焦点偏移”等。

别名：弱吸收测量仪，强激光材料性能测试仪，光热吸收测量仪，光学薄膜微弱吸收测量仪，光热效应测量仪，热透镜效应测量仪

主要特点：

       光热吸收测量

       热透镜效应测量

       激光诱导波前畸变测量

      测量分辨率<10pm (~ λ/10,000)

       实时吸收测量：ppm级灵敏度

           Relaxation of wavefront deformation after heating pulse                 Thermal lens in fused silica @193nm  

主要应用：

       光学材料测试

       透镜热吸收性能分析

       复杂光学瞬态畸变（如：F‐Theta平场聚焦镜头）

       质量控制

       高功率激光器（固体激光器、准分子激光器、CO2激光器等）

设备结构示意图：

                                                                                                                  波前传感器

可用的辐射源：

-高功率准分子激光器

         -351nm、308nm、248nm、193nm等

-固体激光器

         -1064nm、532nm、355nm、266nm（ns and ps 脉冲宽度）

         -1070nm光纤激光（500W cw）

         -可调谐OPO：680~980nm+IR-Idler

-激光诱导EUV/XUV源

        -13.5nm

        -~4nm

测试实例1：Thermal wavefront distortion on mirrors @193nm / 1000Hz

           On Quartz                                                                             On CaF2

            EUV Mirror                                                                        X-Ray Mirror

测试实例2：Focus shift in F-Theta objective@1070nm

测试实例3：Quarz plate + AR coating

光束测试软件

测试基于ISO标准