波前曲率传感器/压电驱动微动平台，装配CCD相机，光束方向快速移动，临近位置光束剖面/形貌分析，波前推导CCD像素级分辨，光束传播参数分析（M2、瑞利长度、束腰直径），Zernike分析畸变控制，采用自我参考法，无光束相干要求，紧凑式设计，在线检测。

EUV/XUV波前传感器又称Hartmann波前传感器（相干和非相干辐射），紧凑结构，可以实现光化性能检测，包括EUVL等离子源、自由电子激光、HHG高次谐波束，实时光学调整。

Shack-Hartmann 波前传感器/波前分析仪是专用于激光束性能的综合表征，对激光辐射传播行为预测以及光束质量因子M²的确定，从同时记录强度和相位分布光束质量可以通过菲涅耳-基尔霍夫积分计算沿光束路径的任何位置，特别是焦平面。

UV光束分析仪/UV激光光束质量分析仪可实现高分辨率实时空间光束的监测、定量表征与强度分布。用于所有脉冲或连续波激光器以及非相干光源，检测器CCD芯片上量子转换涂层保证了UV检测的高灵敏度。

UV紫外/EUV极深紫外激光光束质量分析仪可实现高分辨率实时空间光束的监测、定量表征与强度分布。用于所有脉冲或连续波激光器以及非相干光源，覆盖极宽的光谱范围从近红外到软X射线（光谱范围~ 1 …. 1100 nm），检测器CCD芯片上量子转换涂层保证了UV/EUV检测的高灵敏度。